实验室高纯气体对系统常用阀门的密封性有非常严谨的标准，现阶段国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本上都选用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门方式有隔膜阀、波纹管阀和阀门。波纹管阀的密封性比阀门好，在气体经过阀门时并没有与外环境接触的填充料，所以并没有渗漏现象：隔膜阀除了密封性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体型小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯净度和制作工艺标准极严谨或是危险性大的气体。

1、全部不锈钢管道两端用塑料盖封口，外部有塑料套封口，在进入施工工地后，安装前，即可将塑料套拆封，并去除塑料盖。

2、管道铺装时,应特别注意平直，弯头处选用专用的弯管器，无法徒手弯曲，断开管道时，用专用的切管器操作，禁止用锯子锯掉管道。管道断开后，使用专用工具解决断口，禁止用普通的锉刀解决。

3、在管道的路线规划中，每隔1米应安装一个管夹，如遇特定建筑物结构，应酌情处理。

4、管道穿墙及穿地面时，应安装套管，套管与管道之间的间隙，应选用无法燃烧的材质充填。

5、全部螺纹连接处要选用密封带封口。

6、全部调节阀稳定面板、全部出口点及全部管道上，都应贴配有相应气体的成分及浓度的气体标题。

7、全部系统组件安装完成后，使用高纯氮气做好三次之上的吹扫。以确保内部干净。

8、吹扫完成后，用高纯氮气做好检漏试压测试，测试压力应当为工作压力的1.5倍。

9、在全部作业过程中，应特别注意施工安全，尤其是空中作业时(在梯子或钢管架上作业),需有专业人员稳定梯子或钢管架。在土建暂未完工的工地作业时，必须戴好安全帽，穿防护鞋。